MEMS湿度传感器介绍
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传统湿度测量常采用伸缩法、蒸发法、露点法,但传统的湿度计体积较为庞大,甚至存在一些机械部件,因此很难与现代电子设备进行接口互联。而MEMS技术的发展则极大地促进了湿度传感器的微型化和智能化。
目前MEMS湿度传感器按工作原理大致可分为:电容型、电阻型、谐振式、热导式、电磁波法等。其中电容型是目前应用最多的一种传感器,大概占MEMS湿度传感器的75%左右。感湿介质包括:(1)多孔物,如多孔硅、多孔三氧化二铝、多孔氮化硅、多孔二氧化硅等;(2)高分子材料,如聚苯乙烯、聚酰亚胺、酷酸醋酸纤维等;(3)空气……
MEMS电容型湿度传感器制作流程(聚酰亚胺作为感湿介质)
一方面,和温度传感器一样,基于IC工艺的湿度传感器尺寸也可达到毫米量级,因此专门生产MEMS湿度传感器的厂商较少,有MEMS传感器技术的厂商也主要专注于惯性传感器、压力传感器等。另一方面,湿度传感器也常与温度传感器集成在一个微芯片上,由此可以精确测量露点,使其不会因为湿度传感器和温度传感器之间的温度梯度而导致误差。
湿度传感器在工业控制、气象、农业、矿山检测等行业中得到了广泛的应用。目前MEMS温度/湿度传感器实际应用不如MEMS惯性传感器广泛,但MEMS温度/湿度传感器未来将向智能手机、平板装臵、笔记本电脑等可携式产品延伸,成为消费电子类产品硬件差异化的重要部件。
国内外MEMS湿度传感器供应商
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