收缩

QQ在线客服

  • 在线咨询
  • 中为客服1
  • 中为客服2
  • 中为客服3
  • 中为客服4

QQ在线客服

  • 400-891-3318
  • 0755-84275866
  • 0755-84275899
  • 中为报告
  • 中为资讯
  • 中为数据
  • 企业名录
 深圳·北京·上海
中国最为专业的产业市场调查研究咨询机构
中为实力鉴证  咨询流程  公司资质
您当前位置:首页 > 中为资讯 > 中为观察 >  正文

MEMS湿度传感器介绍

来源:中为咨询www.zwzyzx.com 【日期:2016-09-30 09:46:11】【打印】【关闭】
传统湿度测量常采用伸缩法、蒸发法、露点法,但传统的湿度计体积较为庞大,甚至存在一些机械部件,因此很难与现代电子设备进行接口互联。而MEMS技术的发展则极大地促进了湿度传感器的微型化和智能化。
 
目前MEMS湿度传感器按工作原理大致可分为:电容型、电阻型、谐振式、热导式、电磁波法等。其中电容型是目前应用最多的一种传感器,大概占MEMS湿度传感器的75%左右。感湿介质包括:(1)多孔物,如多孔硅、多孔三氧化二铝、多孔氮化硅、多孔二氧化硅等;(2)高分子材料,如聚苯乙烯、聚酰亚胺、酷酸醋酸纤维等;(3)空气……
 
MEMS电容型湿度传感器制作流程(聚酰亚胺作为感湿介质)

 
一方面,和温度传感器一样,基于IC工艺的湿度传感器尺寸也可达到毫米量级,因此专门生产MEMS湿度传感器的厂商较少,有MEMS传感器技术的厂商也主要专注于惯性传感器、压力传感器等。另一方面,湿度传感器也常与温度传感器集成在一个微芯片上,由此可以精确测量露点,使其不会因为湿度传感器和温度传感器之间的温度梯度而导致误差。
 
湿度传感器在工业控制、气象、农业、矿山检测等行业中得到了广泛的应用。目前MEMS温度/湿度传感器实际应用不如MEMS惯性传感器广泛,但MEMS温度/湿度传感器未来将向智能手机、平板装臵、笔记本电脑等可携式产品延伸,成为消费电子类产品硬件差异化的重要部件。

国内外MEMS湿度传感器供应商

本文地址:http://www.zwzyzx.com/show-280-235632-1.html
分享到:
相关资讯

合作媒体

定制出版

报告搜索

免责声明

  中为咨询所引述的资料是用于行业市场研究以及讨论和交流,并注明出处,部分内容是由相关机构提供。若有异议请及时联系本公司,我们将立即依据相关法律对文章进行删除或作相应处理。查看详细》》