电子气体的基本定义
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电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料,电子工业的发展要求电子化学品与之同步发展,不断地更新换代,以适应其在技术方面不断推陈出新的需要。特别是在集成电路(IC)的细微加工过程中所需的关键性电子化学品主要包括:光刻胶(又称光致抗蚀剂)、超净高纯试剂(又称工艺化学品)、电子特种气体和环氧塑封料,其中超净高纯试剂、光刻胶、电子特种气体用于前工序,环氧塑封料用于后工序。这些微电子化工材料约占IC材料总成本的20%,其中超净高纯试剂约占5%,光刻胶约占4%,电子特种气体约占5%-6%。
气体大致可以分为两大类别,即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业气体一般要求生产量大,但对气体的纯度要求不高。分析报告特种气体则是用途有别于一般气体的气体,是一个笼统的概念。它在纯度、品种、性能方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。一般认为,它是由电子气体、高纯石油化工气体、标准混合气体组成。
一般在半导体制造业可以把气体分为大宗气体和电子气体,大宗气体是指集中供应且用量较大的气体,如N2、H2、O2、Ar、He等。电子气体主要是半导体制造的每一个过程如外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀清洗、掩蔽膜生成所用到的各种化学气体,如高纯SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等,又可称为电子特种气体。
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