湿电子化学品的产生和发展情况
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湿电子化学品是对使用于湿法工艺的“电子级试剂”、“超净高纯化学试剂”的更为合理准确的表达。国内的超净高纯试剂,在国际上通称为工艺化学品(ProcessChemicals),美国、欧洲和我国台湾地区称为湿化学品(WetChemicals)。在SEMI(国际半导体设备与材料协会)对世界半导体制造用主要材料的销售市场规模统计,把用于半导体制造的湿电子化学品专门提出,作为一类重要的半导体用电子材料的门类。
(1)湿电子化学品的产生
20世纪50年代以后,电子工业、核工业、航天工业等新兴工业快速崛起,使得高纯、特纯材料、生物化学制品、临床化学试剂等技术水平得到较大的发展。20世纪60年代以后,随着电子工业、核工业、航天工业等新兴工业的技术水平的不断提高,化学原材料对下游产品的质量起到了越来越重要的作用,同时,由于不同应用领域对化学材料的性能都有不同的要求,这就需要有功能性较强的专用化学品生产企业为下游电子产业提供配套服务。湿电子化学品行业也在此背景下应运而生。
(2)我国湿电子化学品的发展历程
我国湿电子化学品行业的发展,可划分为三个发展阶段,即:初期发展阶段(20世纪70年代中期至21世纪前十年代中期);生产转向规模化发展阶段(2006年~2009年);大规模快速发展阶段(2010年以后)。
初期发展阶段:1980年北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合5µm技术用的MOS级试剂。随着集成电路集成度的不断提高,对超净高纯试剂中的可溶性和固体颗粒的控制越来越严格,也对监测分析、生产环境、包装技术等提出了更高的要求。为了满足国内集成电路的发展,国家将超净高纯试剂的研发列入重点科技攻关计划。自20世纪七十年代中期起至21世纪前十年代中期,国内湿电子化学品企业在规模上、技术水平上都较低,与国际上的湿电子化学品大型企业相差甚远,部分民营企业开始纷纷加入湿电子化学品行业。
生产转向规模化发展阶段:“十五”以后,国家加强了化学试剂生产企业监管,陆续出台了一系列的法律法规,对化学试剂生产企业施行强制许可制度。部分技术力量薄弱、生产经营不规范的企业退出了化学试剂行业,而部分技术力量突出,生产经营规范,品质较好的优秀企业获得了市场地位,行业集中度有所提高。经过数十年积累,国内湿电子化学品企业陆续获得了G1、G2等级的化学试剂生产技术,少数部分技术领先企业已经具备G2等级化学试剂规模化生产的能力,部分产品的关键技术指标已经达到了国际G3标准的水平,在相关领域逐步开始替代进口。在此期间,湿电子化学品市场规模也随着下游需求的扩张而成长,国内湿电子化学品行业转向规模化发展阶段。
快速发展阶段:2010年之后,下游平板显示、半导体、太阳能等新兴产业得到较快发展,同时,湿电子化学品的生产、检测、包装、技术服务水平开始攀升到一个新台阶,装备及技术实力得到大幅度的提升,技术领先企业的部分产品具备了G3等级的生产技术,并开始向更高端产品生产技术的突破,行业进入快速发展阶段。
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