洁净室的洁净等级
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目前,洁净室的洁净度一般参照国际标准ISO14644-1 空气洁净度等级划分,以每立方米空气中含0.1μm 的微粒数量来划分洁净室级别,现在美国、欧洲、日本、俄罗斯均采用此标准。洁净室行业在较长一段时间内采用的标准如100 级、1,000 级、10,000 级和100,000 级均是源自美国联邦标准FED-STD-209E(以每立方英尺空气中含0.5μm 的微粒数来划分洁净级别),现在已分别被国际标准ISO14644 标准ISO5、ISO6、ISO7 和ISO8 所替代。
我国于2001 年11 月由国家质量监督检验检疫总局与建设部联合修订并发布了《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001),其中对空气洁净等级的规定等同采用国际标准ISO14644-1 中的有关规定,如下表所示:

(资料来源:中为咨询编辑部)

(资料来源:中为咨询编辑部)
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