高纯工艺系统专用设备的设计和生产
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专用设备是高纯工艺系统的一个组成部分。下面以特气柜为例说明专用设备在设计和生产方面的技术要求。
从设计上看,为了达到生产工艺对纯度的要求,特气柜要满足内容积小、无死区无死角的设计要求以控制污染。为了保证安全,尽可能的减少操作人员在操作设备时与危险环境的接触,特气柜采用可锁式防爆玻璃视窗以让操作人员在不打开门和窗户的情况下监察系统工作情况,还采用直接计算界面触摸屏设计以直接进行安装和日常操作。
从生产过程看,特气柜的工艺阀件面盘需在100级的洁净环境内制造装配,在1000级的洁净环境内测试;特气柜的焊接需使用氩气纯化器对焊接中的氩气进行纯化,纯化后的内保护氩气纯度需大于99.999999%,确保焊接气体中的水分氧分含量均低于10ppb,从而保证在此纯度的焊接氩气保护下,不锈钢管阀件的焊缝内表面无氧化。(资料来源:中为咨询研究中心编辑部, 中为咨询网可专业提供行业调查报告,产业分析报告,市场分析报告,产业研究报告,汽车市场调查报告,洁净室工程行业研究报告,高纯工艺系统行业调查报告……)
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