高纯工艺系统原料控制技术水平及特点

来源：中为咨询网www.zwzyzx.com 【日期：2014-06-13 21:51:52】【打印】【关闭】

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高纯工艺系统需要使用大量的管道、阀门、配件，高洁净材料是制造管道、阀门、配件的原材料，通常为不锈钢、镍以及耐蚀镍基合金。

在不锈钢熔炼制材过程中，每吨不锈钢会吸收大约200g的气体，因此不锈钢加工完毕后，不仅其表面粘有各种污染物，而且在其金属晶格内也吸附有一定量的气体，形成污染源。当系统中有气流通过时，金属所吸附的这部分气体会重新进入气流中，污染高纯工艺介质。当管内气流不连续流动时，管材对所通过的气体形成压力下吸附，气流停止通过时，管材所吸附的气体又形成降压解析，而解析的气体同样作为杂质进入系统内高纯工艺介质中。同时，吸附、解析周而复始，使得材料内表面金属产生一定的粉末，这种金属微颗粒同样污染工艺系统内的高纯介质。金属材料的这一特性至关重要，为了确保所输送的高纯介质的纯度，高纯工艺系统内表面不仅要有极低的粗糙度（Ra≦0.25μm），而且应具有很高的耐磨性，目前主要通过EP电解抛光技术进行内表面处理。

高纯工艺系统的材质可以依不同的使用需求进行分类，比如针对制程用的工艺反应气体，系统一般选用高等级的316LEP管，再经电解拋光(Electro-Polish)处理，使其内表面耐腐蚀、粗糙度低（Ra≦0.25μm），因为表面粗糙度越低越不容易形成微涡流，从而将污染微颗粒带出。管内表面粗糙度是衡量管材加工质量的重要标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性越低。高纯工艺系统系统的密封材料通常采用不锈钢、镍以及耐蚀镍基合金。密封材料不推荐使用如氟橡胶和聚四氟乙烯这一类的弹性材料，因为它们具有微观粗糙表面，脱气现象较严重，同时可渗透氧和水，造成对气体的污染；这类材料还会随时降解，从而导致微颗粒脱落到系统内造成污染。（资料来源：中为咨询研究中心编辑部, 中为咨询网可专业提供行业调查报告，产业分析报告，市场分析报告，产业研究报告，汽车市场调查报告，洁净室工程行业研究报告，高纯工艺系统行业调查报告……）

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