洁净室工程微电子技术领域向光电技术和微机电技术领域扩展

来源：中为咨询网www.zwzyzx.com 【日期：2014-05-28 18:06:13】【打印】【关闭】

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光电技术是继微电子技术之后近年来迅速发展的新兴技术，它集中了固体物理、导波光学、材料科学、微细加工和半导体科学技术的科研成就，是电子技术与光学技术自然结合与扩展的新兴交叉学科，对于国民经济、科技和国防都具有重要的战略意义。光学技术应用领域和微电子技术应用领域基本一致，但由于光学技术有超越微电子技术的优良性能和发展潜力，两者结合起来的综合技术在信息技术、加工制造、医学、军事等领域有着广泛的应用。微电子和光电领域产品的制造工艺是一个复杂的过程，技术难度和成本均较高，对生产环境要求也较高，生产工艺对环境的空气洁净度等级、温度、湿度和高纯物质的供应等均有较严格的要求。洁净室技术在微电子和光电领域目前均已经得到广泛应用。

随着消费类电子产品的人性化发展，整合电子、机械、通讯、光学、甚至生物化学的微机电技术领域逐渐形成。如常见的智能型手机的屏幕会随着手机的旋转而调整方向，就是由于安装了微陀螺仪。这是高度整合不同技术领域并以微电子生产技术为基础的产业，对洁净室环境的控制，除了传统的洁净概念、高端微电子生产技术中的分子污染控制外，洁净室中交叉污染的防治将更为重要。未来该领域将会成为继微电子、光电后的新兴技术领域。（资料来源：中为咨询编辑部）

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