高纯工艺系统设计水平及特点

来源：中为咨询网www.zwzyzx.com 【日期：2014-06-13 21:49:35】【打印】【关闭】

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高纯工艺系统设计上的优劣直接影响客户制程工艺的稳定性、介质的纯度，因此设计是高纯工艺系统行业高附加值的主要源泉。下面主要结合工艺系统中的污染来源说明系统设计中的几个核心问题：

（1）化学微污染之解析机理

化学气相杂质在管道、阀门及零部件制造时会先吸附在材料表面，待高纯工艺系统安装启动后，杂质组分再慢慢解析出来并污染工艺制程。气相污染物的量会因材料的化学组分及表面粗糙度的不同而不同，特别是焊缝表面会因粗糙度增加而使污染严重。这就要求在设计高纯工艺系统时，减少内表面面积和瑕疵点，并做电解抛光EP处理。

（2）化学微污染之扩散机理

扩散是一种物理运动，浓度梯度是产生扩散的原因。即使高纯工艺系统内是正压力，环境中低压的水分等气象杂质也会因高浓度而向高纯工艺系统内扩散，扩散的部位主要是焊接缺陷及管接头密封处。这就要求在设计高纯系统时选择密封性好的连接方式，比如轨道自动氩弧焊接、VCR(面密封接头)、隔膜阀等重要技术。

（3）化学微污染之死区扩散机理

因设计和零部件选型不合理而造成的死区会对高纯工艺系统的不纯物控制造成严重威胁，因为死区藏污纳垢，在系统吹扫时不能被清除干净，从而导致高纯工艺系统长时间运行后对工艺制程所要求的不纯物控制达不到预定的要求。这就要求在设计高纯工艺系统时进行优化，减少系统内容积，把死区降低到最小。

（4）颗粒杂质污染机理

高纯工艺系统内因摩擦或材料腐蚀会产生颗粒，螺纹接头与旋转式阀杆常产生颗粒，因此高纯工艺系统中的旋转及转动部件不能与高纯工艺介质直接接触。高纯工艺系统所使用的部件和设备在自身生产过程中的最终清洗和装配流程需要在100级洁净室内完成，因此高纯工艺系统的设计内容要包括终端精密过滤器，并且过滤精度要达到0.003μm。（资料来源：中为咨询研究中心编辑部, 中为咨询网可专业提供行业调查报告，产业分析报告，市场分析报告，产业研究报告，汽车市场调查报告，洁净室工程行业研究报告，高纯工艺系统行业调查报告……）

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