电子气体分类概况
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电子特种气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可或缺的原材料，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业服务的电子气品种繁多，用途五花八门，它的分类方法亦较为复杂。一般可按电子气用量的多少分类，也可以按电子气的用途分类。
由于制造上的需要，工厂使用了许多种类的气体。一般我们皆以气体特性来区分，分析报告可分为特殊气体及一般气体两大类。前者为使用量较小的气体，如SiH4，NF3等，后置为使用量较大的气体，如N2，CDA（干燥压缩空气）等。在半导体制造中，需提供各种高纯度的一般气体用于气动设备动力、化学品输送压力介质或用作惰性环境，或参与反应去除杂质度等不同功能。
电子气体按气体特性分类
根据电子气的不同用途，电子气可分为十多类，例如外延晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相沉积气、喷射气、离子注入气、等离子刻蚀气、载气、吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。表2列出了电子工业、半导体器件制备工艺中所用电子气的范例。
电子气体按气体用途分类
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