静电与微污染防控的基本原理
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静电防控的基本原理是:控制静电起电量和电荷积聚,防止危险静电源的形成;使用静电敏感度低的物质,降低场所危险程度;采用综合防护加固技术,防止ESD(静电放电)能量耦合。通常采取的措施有静电泄漏、静电屏蔽和静电中和等方式。如:采用防静电服控制静电起电量;采用防静电鞋增强人体静电泄漏;采用防静电屏蔽袋对产品进行静电隔离保护;采用离子化静电消除器进行静电中和等。
微污染防控的基本原理是:控制微污染物的产生;防止产生交叉污染;采用环境净化技术。通常采取的措施有:空气过滤、超净清洗、无尘擦拭、除尘、隔离保护等方式,如:采用无尘服对人体产生的微污染进行屏蔽隔离;通过洁净室的空气过滤系统保持室内空气洁净;使用无尘擦拭布进行脏污清除;使用净化粘尘垫进行尘埃捕捉,防止扩散;使用无尘电子保护膜对产品进行隔离保护;采用DI水(去离子水)超净清洗来降低离子、颗粒等微污染。
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