MEMS传感器显著优于传统传感器
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传感器能感受被测量物体的信息，并能将信息以电信号或其他形式传输出去，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。
MEMS即微机电系统，是指将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统，具有广阔的应用前景，其中MEMS传感器占相当大的比例。
与传统传感器相比，MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统传感器所不能实现的功能。
MEMS即微机电系统，是指将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统，具有广阔的应用前景，其中MEMS传感器占相当大的比例。
与传统传感器相比，MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统传感器所不能实现的功能。
加速度和陀螺仪组合传感器
MEMS压力传感器
MEMS惯性传感器
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