半导体设备:半导体产业支柱概况
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半导体设备作为IC制造业和IC封装测试业的生产设备,是发展半导体产业的重要支柱。全球半导体技术的激烈竞争,集中反映在半导体设备的竞争上。因此半导体设备的周期与半导体技术周期曲线基本相似。
集成电路产业按照摩尔定律持续发展,制程节点不断减小,今年有望实现10nm量产。同时半导体制造技术极其精细,制造工艺极其复杂,根据产品的不同,集成电路生产需要几十步甚至上千步工艺,且对产品的良率要求极高。因此,集成电路制造过程中对半导体设备的工艺精度和稳定性要求极高。
半导体设备是半导体产业的技术先导者。半导体器件的更新换代是靠采用新的半导体工艺来完成,而新一代半导体工艺又要靠新一代的半导体设备加工实现,通常半导体设备的研发领先半导体工艺3-5年。因此,半导体设备产业具有极高的技术壁垒,从而促使该行业出现高度的市场集中化。
ITRS集成电路技术趋势路线


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