MEMS产品功能多样、高度集成

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来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2016-10-08 10:37:30】【打印】【关闭】

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MEMS传感器：硅麦克风、陀螺仪、加速度器、磁力计、组合传感器、压力传感器、轮胎压力传感系统等。

典型MEMS产品

MEMS执行器：微镜、振动器、射频、体声波滤波器、喷墨头、自动聚焦、红外探测器等。

MEMS封装俯视图

MEMS封装截面图

集成可能性是MEMS技术的另一个优点，MEMS和ASIC(专用集成电路)采用相似的工艺，因此具有极大地潜力将二者集成，上图的加速度计中MEMS与IC在不同的硅片上制造好了再粘合在同一个封装内。

MEMS发展过程

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