超净高纯试剂的标准与规格
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由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大，从事超净高纯试剂研究与生产的厂家及机构也在增多，生产规模在不断扩大。但各生产厂家所生产的超净高纯试剂的标准各不相同。为了能够规范世界超净高纯试剂的标准，SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational，国际半导体设备和材料协会）于1975年成立了SEMI化学试剂标准化委员会，专门制定、规范超净高纯试剂的国际标准。
进入21世纪，国际SEMI标准化组织又根据超净高纯试剂在世界范围内的实际发展情况对原有的分类体系进行了归并，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级，对应集成电路不同技术水平，所需超净高纯试剂的标准越高，纯度和洁净度的要求也越高。具体分类情况如下：
随着集成电路的发展，设计规范尺寸已进入亚微米、深亚微米时代，对与之配套使用的超净超纯试剂提出了更高的要求。
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