高纯水应用于集成电路工业中半导体原材料和所用器皿的清洗
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高纯水（或超纯水）是将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不可分离降解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。高纯水应用于集成电路工业中半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作等。
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