三氟化氮（NF3）：气体清洗剂，目前国内已打破技术垄断
相关报告
- 数据更新中...
三氟化氮熔点-208.5℃，沸点-129℃，沸点时液体的相对密度1.89。NF3是三卤化氮中最稳定的一种，但和水、氢气、氨气、一氧化碳或硫化氢等的混合气体遇火花即发生猛烈爆炸。高纯NF3几乎没有气味，它是一种热力学稳定的氧化剂，大约在350℃左右可分解成为二氟化氮和氟气，高温下能与许多元素反应，可作为游离基的供给源。
作为半导体工业气体清洗剂的全氟烃（PFC）对环境有害，近年来有逐渐被NF3取代之势。分析报告使用比F2稳定且易于处理CVD箱，与PFC相比可减少污染物排放量约90%，且可显著提高清洗速度，从而可提高清洗设备能力约30%。NF3也是微电子工业中优良的等离子刻蚀气体，对硅和氮化硅刻蚀，有更高的刻蚀速率和选择性，而且对表面无污染，尤其在小于1.5μm的集成电路材料额是可重，NF3有非常优良的时刻速率和选择性，在被刻蚀表面不留任何残留物质。
NF3的生产方法主要有2种，氟氨化合法和电化学法：
NF3生产方法
本文地址：http://www.zwzyzx.com/show-332-239131-1.html
相关资讯
- 国内外色母粒行业竞争格局(2016-01-28)
- 人造大理石领域聚醚胺应用发展情况(2016-03-11)
- 国内石化和化工行业发展状况(2015-05-12)
- 国内石化工程行业的主要法律法规和政策(2015-01-30)
- 国内线缆用高分子材料行业优势企业介绍(2014-12-09)
- 国内线缆用高分子材料行业与上游行业的关联性(2014-12-09)
- 国内轮胎产量规模及变化趋势(2014-05-23)
- 三友化工：传统业务有望好转，进军新能源车为市值催化最大亮点(2016-05-23)
合作媒体
最新报告
定制出版
热门报告
免责声明
中为咨询所引述的资料是用于行业市场研究以及讨论和交流，并注明出处，部分内容是由相关机构提供。若有异议请及时联系本公司，我们将立即依据相关法律对文章进行删除或作相应处理。查看详细》》
