电子气体在半导体照明行业的应用

来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2016-10-18 14:47:57】【打印】【关闭】

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发光二极管（LED）作为新型高效固体光源，具有高效、节能、环保、安全、寿命长、色彩丰富、易维护等显著优点。分析报告据有关数据表明，LED照明替代白炽灯能够节约90%的耗电量，通过节电效果减少大量温室气体排放。当前全球能源危机和温室效应愈发严重，在节能、低碳、环保的大时代背景下，澳洲、加拿大、日本、美国等先后宣布禁用（禁售）白炽灯。我国也于2011年11月公告，分阶段逐步禁止进口和销售白炽灯。据测算，如果我国在用白炽灯全部替换为节能灯或半导体照明，年可节电480亿Kw时，相当减少二氧化碳排放4800万吨。LED产业在此背景下，其发展前景备受看好。

（一）制程介绍

制程与半导体集成电路类似，在此就不赘述。

（二）电子气体应用

LED产业链中，上游产业中外延片和芯片制造是核心技术，而高纯气体在其制造中起到关键性作用，这与半导体集成电路类似，按用途可分为掺杂扩散、外延用、离子注入、蚀刻清洗、稀释用和化学气相沉积气体等，种类也与半导体集成电路使用的气体相差无几。

（三）市场规模分析

应用于LED制造中的电子气体种类繁多，质量要求高，其中多种高纯气体的研发和量产国内仍处于空白，市场供应主要依靠进口。随着LED技术的日益成熟和产业化进程的加快，外延技术、有机源的研制和制造技术的不断提升对气体质量和纯度的要求达到了新的高度。随着部分电子高纯气体逐渐国产化，LED产业对气体质量监测也提出了更高的要求。

从2008年到2015年，整个LED行业产值由16亿元增长到130亿元，规模翻了八倍不止。虽然从2014到2015增速放缓了不少，然而绝对值是相当大的，并且还在持续增长中。国内气体公司主要向LED产业供应大宗高纯气体如O2、N2、Ar、He、H2等，此外还供应少部分电子气体和混合气体如N2O、NH3、SiH4、CF4、SF6、B2H6、BCl3、PH3、NF3、GeH4、AsH3、BF3、NO、WF6、HCl、Cl2等，国产电子气体还大有可为空间。

中国LED产值