MEMS气体传感器简介

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气体传感器主要用于检测目标气体的成分、浓度等，气体检测原理大致有：（1）光学型：根据气体自身的光学特性，可采用非色散红外传感器NDIR、傅立叶变换红外（FTIR）、化学发光（chemiluminescence）和微色谱法（microchromatography）法等；（2）敏感膜吸附型，根据根据气体敏感膜的化学吸附机理，采用电导变化型、悬臂梁型或声表面波型；（3）催化燃烧型，易燃易爆气体，采用催化燃烧式检测；（4）离子迁移谱型，依据离子迁移谱原理改进的高场不对称波形离子迁移谱（FAMS）技术；（5）金属氧化物半导体型（MOS技术）；（6）电化学技术型。以往的气体检测仪器较为笨重和昂贵，而MEMS技术可使以上部分技术产品（如MOS技术、IR技术、色谱法技术等）实现微型化。

气体传感器应用广泛，但每种应用场景下都有不同的技术要求，如被测气体类型、封装尺寸、灵敏度、寿命、响应时间等。以消费类市场为例，其要求气体传感器具有良好的灵敏度、可靠性、低成本、小尺寸和低功耗。金属氧化物半导体（MOS）目前可能是成本和尺寸方面最佳的选择，并且使用寿命可达5~10年，适合可穿戴设备和智能手机。此外，NDIR技术的传感器在减少尺寸方面也取得了长足的进步，随着MEMS的发展有望进一步应用于消费类应用中。

气体传感器主要用途

目前气体传感器市场主要受暖通空调（HVAC）驱动增长，随着物联网浪潮的驱动，针对智能家居、智能手机、可穿戴设备等的消费级气体传感器需求将快速增长，具有微型化、智能化等特点的MEMS气体传感器将迎来广阔的市场空间。目前国内外传感器龙头企业都开始注重研发MEMS气体传感器产品。

MEMS气体传感器

国外企业中，博世（Bosch）已经推出集成气体、气压、温度和湿度传感器于一体的MEMS环境传感器。另外奥地利微电子（AMS）、CambridgeCMOSSensors(CCS)均推出了MEMS气体传感器。盛思锐（Sensirion）的官网显示其即将推出世界上第一款多像素气体传感器，尺寸仅为2.45×2.45×0.75mm，可检测VOCS、酒精、CO等气体。

国内来看，一方面，从事MEMS气体传感器研究和生产的公司较少；另一方面，技术上与国外领先企业还有较大的差距。国内的代表企业有汉威电子，其是一家气体传感器的专业厂商，旗下的苏州能斯达依托苏州纳米所，专注于微纳传感器、MEMS的研发和生产，并已推出了第一款MEMS气体传感器。

国内外MEMS气体传感器供应商

虽然国内在消费级气体传感器供应方面有所落后，但由于国内空气质量、装修污染等问题突出，气体检测的消费需求十分强烈。因此国内部分消费电子厂商及时瞄准这一蓝海，将气体传感器率先应用于智能硬件产品中，如：酷派推出的潘多拉魔盒可以用于酒精测试、VOC气体检测；海尔针对家装污染推出“醛知道”甲醛检测仪、空气盒子产品，但其所用的甲醛传感器为英国进口；汉威电子推出的空气电台兼具CO2、VOC气体检测功能。

酷派的潘多拉魔盒可用于酒精测试、VOC气体检测