MEMS制造工艺非标准化,不同类型器件采用不同工艺
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MEMS制造工艺主要包括微机械加工工艺、LIGA和集成工艺。微机械加工工艺又分为体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺。每一种工艺又有很多种细分类型。MEMS产品设计者根据产品需求来选择相应的制造工艺和材料。
主要的加工工艺

简单的体微加工工艺流程

简单的表面微加工工艺流程

MEMS加工工艺和IC加工工艺有较大的区别:
MEMS技术是由集成电路技术演变而来,并且对集成电路产业研发的加工技术进行了极大地改进,在某些加工方法和加工材料上,MEMS和IC具有相同的特性,但MEMS和集成电路加工工艺又很大的不同。
C加工工艺与MEMS加工工艺的区别

MEMS制造工艺复杂并且非标准化,不同类型MEMS传感器使用的制造工艺流程完全不同。例如9轴惯性传感器、MEMS麦克风、压力传感器、湿度传感器功能不同,有的需要与环境接触,器件内部结构完全不同,所以采用不同的制造工艺。
不同类型MEMS传感器不同的制造工艺

同一种MEMS器件不同厂商使用的加工工艺也不相同。以惯性传感器为例,Draper采用Gyroscope工艺,Ford采用BulkAccelerometer工艺,亚德诺半导体采用iMEMS工艺,意法半导体设计的陀螺仪、加速度计产品都是基于THELMA工艺,英美盛的陀螺仪采用NF工艺。
意法半导体THELMA工艺流程

英美盛NF工艺

英美盛NF工艺的四大流程

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