MEMS制造工艺非标准化，不同类型器件采用不同工艺

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来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2016-09-30 10:04:21】【打印】【关闭】

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MEMS制造工艺主要包括微机械加工工艺、LIGA和集成工艺。微机械加工工艺又分为体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺。每一种工艺又有很多种细分类型。MEMS产品设计者根据产品需求来选择相应的制造工艺和材料。

主要的加工工艺

简单的体微加工工艺流程

简单的表面微加工工艺流程

MEMS加工工艺和IC加工工艺有较大的区别：

MEMS技术是由集成电路技术演变而来，并且对集成电路产业研发的加工技术进行了极大地改进，在某些加工方法和加工材料上，MEMS和IC具有相同的特性，但MEMS和集成电路加工工艺又很大的不同。

C加工工艺与MEMS加工工艺的区别

MEMS制造工艺复杂并且非标准化，不同类型MEMS传感器使用的制造工艺流程完全不同。例如9轴惯性传感器、MEMS麦克风、压力传感器、湿度传感器功能不同，有的需要与环境接触，器件内部结构完全不同，所以采用不同的制造工艺。

不同类型MEMS传感器不同的制造工艺

同一种MEMS器件不同厂商使用的加工工艺也不相同。以惯性传感器为例，Draper采用Gyroscope工艺，Ford采用BulkAccelerometer工艺，亚德诺半导体采用iMEMS工艺，意法半导体设计的陀螺仪、加速度计产品都是基于THELMA工艺，英美盛的陀螺仪采用NF工艺。

意法半导体THELMA工艺流程

英美盛NF工艺

英美盛NF工艺的四大流程

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