MEMS传感器在微纳卫星领域的应用
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2014年5月4日，SpaceX为国际空间站提供给养的一个火箭，将会投放一个卫星母船（体积仅为10X30厘米），这艘母船，将会投放104颗名为“小妖怪”的微型卫星。“小妖怪”卫星的体积，只有几个拇指般大小。每一颗卫星的重量仅为5克，制造成本仅为5美元。每一个“小妖怪”拥有一个微处理器芯片，一个可以和地球通信的无线电发射装置，两个天线，一个太阳能电池提供卫星长期工作的电力，每一个卫星还配置了磁力计和陀螺仪，从而获知卫星指向的方向。
Space发射的微型卫星
采用MEMS技术制造的微纳卫星体积小、重量轻、成本低、技术含量高、可批量制造，具有十分广阔的前景，并且在我国有成功先例。2015年9月20日，长征六号运载火箭在太原卫星发射中心升空，成功将20颗微小卫星送入预定轨道，其中包括清华大学研制的“纳星2号”技术试验卫星，该卫星的有效载荷包括纳型星敏感器、微型低功耗太阳敏感器、硅基MEMS陀螺、微型石英音叉陀螺、MEMS磁强计、北斗/GPS接收机等，性能指标均达到国际先进、国内领先水平。
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