超净高纯试剂的功能及应用
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超净高纯试剂在半导体领域主要用于集成电路和分立器件用晶圆加工,在平板显示器领域主要用于玻璃面板、ITO导电玻璃加工,在光伏领域主要用于太阳能电池片加工,另外还有LED用晶圆、光磁记录体加工等用途。超净高纯试剂在上述领域的用途及适用的原理基本一致,即用于清洗工艺、蚀刻工艺等环节。
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