超净高纯试剂在集成电路行业具有清洗工艺
相关报告
- 2014-2018年太阳能热水器项目商业计划书(2014-10-11)
- 全国主要地区摇臂铣床产业发展状况暨投资环境调查研究报告(2014-11-24)
- 2014-2018年中国大气污染治理设备行业市场深度调查研究及投资前景咨询研究(2014-01-16)
- 2016-2022年中国膨胀阀行业市场深度调查研究及投资咨询报告(2015-11-30)
- 全国主要地区地面清洁剂产业发展状况暨投资环境调查研究报告(2014-12-02)
- 全国辊压机行业深度调查暨市场分析报告(2014-12-15)
- 2015-2020年中国抗冲击剂行业市场深度剖析及投资发展研究报告(2015-07-03)
- 2014-2018年花露水项目商业计划书(2014-10-17)
- 2015-2019年中国端子业兼并重组及投资建议研究分析报告(2014-11-04)
- 2015-2020年中国PPO行业市场调查研究及投资发展分析报告(2015-05-25)
清洗工艺是微电子加工中最基础的工艺。随着集成度不断提高，线宽不断减小，对硅衬底片的表面质量要求也越来越高。在集成电路生产中，由于工作环境、操作人员、工具设备、化学试剂本身等因素的影响，集成电路可能接触到尘埃及其他颗粒、有机残留物、金属离子等污染物。这些污染物数量超过一定限度时，就会使集成电路产品发生表面擦伤、图像断线、短路、针孔、剥离等现象，影响集成电路的成品率和质量。集成电路生产中生产过程中的每一步都可能会产生污染，而向下游携带任何颗粒都可能污染晶圆，导致报废率升高和操作成本增加。
因此，在集成电路工艺的诸多加工步骤中，清洗工艺成为起始性工艺和关键性工艺，除去了各种对电子线路的实现有阻碍作用的灰尘及微粒污垢，为下一步加工步骤创造条件。
清洗方法又可分为湿法清洗和干法清洗，前者是采用液体化学溶剂和去离子水氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染；后者是利用等离子体、气相化学等技术去除晶片表面污染物。目前集成电路生产中通常采用干、湿法相结合的清洗方式。江阴润玛电子材料产品用于湿法清洗工艺。
本文地址：http://www.zwzyzx.com/show-265-176368-1.html
上一篇：超净高纯试剂的功能及应用
相关资讯
- 化妆品的分类情况介绍(2014-07-09)
- 冷链物流中各种真空绝热板应用产品情况(2015-06-15)
- 全球农药（作物保护市场）销售额2013年已达到526.15亿美元(2014-09-24)
- 上游石化产品价格对电子产品塑料包装行业产品成本影响较大(2014-12-23)
- 国内光刻胶专用化学品行业的周期性、区域性、季节性特征(2014-11-13)
- 国内精细化工行业主管部门与管理体制(2016-02-29)
- 金固股份：设立担保公司，汽车金融布局再下一城(2016-11-16)
- 国内磷化工行业与上、下游行业之间的关联性(2014-12-18)
合作媒体
最新报告
定制出版
热门报告
免责声明
中为咨询所引述的资料是用于行业市场研究以及讨论和交流，并注明出处，部分内容是由相关机构提供。若有异议请及时联系本公司，我们将立即依据相关法律对文章进行删除或作相应处理。查看详细》》
