超净高纯试剂在集成电路行业具有清洗工艺
相关报告
- 2014版物理治疗及康复设备行业企业建设项目可行性研究报告(2014-10-09)
- 2015-2020年中国回火防止器行业市场深度剖析及投资发展研究报告(2015-07-27)
- 2015-2020年中国联苯胺行业市场重点层面调查研究报告(2015-10-12)
- 2015-2020年中国汽车传感器行业深度调研及市场投资发展研究报告(2015-07-15)
- 2014-2018年互联网行业深度调研分析及投资前景研究报告(2013-12-12)
- 2015-2019版紫外线灯行业企业建设项目可行性研究报告(2014-11-03)
- 全国胶垫行业深度调查暨市场分析报告(2014-12-12)
- 2014版煤气行业企业建设项目可行性研究报告(2014-10-13)
- 2015-2019年中国特种胶企业拟IPO上市细分市场研究报告(2014-10-22)
- 中国薄膜电池行业市场深度调查研究及投资咨询报告(2018-08-03)
清洗工艺是微电子加工中最基础的工艺。随着集成度不断提高,线宽不断减小,对硅衬底片的表面质量要求也越来越高。在集成电路生产中,由于工作环境、操作人员、工具设备、化学试剂本身等因素的影响,集成电路可能接触到尘埃及其他颗粒、有机残留物、金属离子等污染物。这些污染物数量超过一定限度时,就会使集成电路产品发生表面擦伤、图像断线、短路、针孔、剥离等现象,影响集成电路的成品率和质量。集成电路生产中生产过程中的每一步都可能会产生污染,而向下游携带任何颗粒都可能污染晶圆,导致报废率升高和操作成本增加。

因此,在集成电路工艺的诸多加工步骤中,清洗工艺成为起始性工艺和关键性工艺,除去了各种对电子线路的实现有阻碍作用的灰尘及微粒污垢,为下一步加工步骤创造条件。
清洗方法又可分为湿法清洗和干法清洗,前者是采用液体化学溶剂和去离子水氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染;后者是利用等离子体、气相化学等技术去除晶片表面污染物。目前集成电路生产中通常采用干、湿法相结合的清洗方式。江阴润玛电子材料产品用于湿法清洗工艺。
本文地址:http://www.zwzyzx.com/show-265-176368-1.html
上一篇:超净高纯试剂的功能及应用
相关资讯
- 水泥行业耐火材料的升级将是未来的趋势(2015-04-09)
- 国内光刻胶及配套化学品市场的竞争状况(2015-01-17)
- 石化工业产业升级,为石化勘测设计行业发展带来新机遇(2015-06-09)
- 国内改性塑料产业结构改善、集中度提高,优势企业快速成长(2014-12-21)
- 聚酰亚胺基复合材料概况及应用(2016-10-25)
- 未来人造革合成革市场至2020年市场需求量约为67.00亿平方米(2015-01-19)
- 国内工业杀菌剂行业标准有待完善(2015-01-07)
- 色母粒在塑料制品行业的地位和作用(2016-01-28)
合作媒体
最新报告
定制出版
热门报告
免责声明
中为咨询所引述的资料是用于行业市场研究以及讨论和交流,并注明出处,部分内容是由相关机构提供。若有异议请及时联系本公司,我们将立即依据相关法律对文章进行删除或作相应处理。查看详细》》