超净高纯试剂在集成电路行业具有清洗工艺

来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2015-12-30 15:04:31】【打印】【关闭】

相关报告

2016-2022年中国汽油行业市场深度调查研究及投资咨询报告(2015-11-23)
中国家居护理用品行业市场深度调查研究及投资咨询报告(2018-07-23)
2015-2019年中国光管应急灯企业拟IPO上市细分市场研究报告(2014-11-04)
2015-2020年中国氟硅酸行业运行研究及市场投资发展分析报告(2015-05-21)
全国去渍台行业深度调查暨市场分析报告(2014-12-15)
全国主要地区电热板产业发展状况暨投资环境调查研究报告(2014-11-25)
中国轻有色金属行业市场深度调查研究及投资咨询报告(2018-07-23)
2016-2022年中国热孔高分子材料区域行业市场调查研究及发展分析报告(2015-10-28)
2014版水产加工行业企业建设项目可行性研究报告(2013-12-24)
全国主要地区磷铁产业发展状况暨投资环境调查研究报告(2014-12-02)

清洗工艺是微电子加工中最基础的工艺。随着集成度不断提高，线宽不断减小，对硅衬底片的表面质量要求也越来越高。在集成电路生产中，由于工作环境、操作人员、工具设备、化学试剂本身等因素的影响，集成电路可能接触到尘埃及其他颗粒、有机残留物、金属离子等污染物。这些污染物数量超过一定限度时，就会使集成电路产品发生表面擦伤、图像断线、短路、针孔、剥离等现象，影响集成电路的成品率和质量。集成电路生产中生产过程中的每一步都可能会产生污染，而向下游携带任何颗粒都可能污染晶圆，导致报废率升高和操作成本增加。