国内外微电子化学品行业技术水平

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来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2016-03-10 10:25:55】【打印】【关闭】

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（1）国际先进水平

目前集成电路的集成水平已由原来的微米级水平进入纳米级水平，为了匹配集成电路的发展水平，世界各大微电子化学品领先企业也在技术工艺上实现了突破。随着集成电路集成水平由微米级、亚微米级逐渐进入到纳米级阶段，国际上制备超净高纯试剂的纯度也由SEMIG1逐渐提升至到SEMIG4级水平，制备光刻胶的分辨率水平由紫外宽谱向ｇ线(436nm)→ｉ线(365nm)→KrF(248nm)→ArF(193nm)→F2（157nm）以及更高端方向发展，同时功能性材料配方的精准度和效能的稳定性也逐渐向更高技术等级水平发展。

（2）国内行业整体技术水平

目前我国1μm工艺技术用的微电子化学品已经实现规模化生产，并实现了国产化；0.35μm技术用化学品也实现了规模生产；0.18μm技术用化学品已经完成了研究工作。目前为止，国内技术领先微电子化学品企业的部分产品已经达到了国际SEMIG4标准，并已开展SEMIG5标准产品的研发工作。

总体上看，我国目前的微电子化学品技术水平要落后于国际先进水平，国内仅有少数部分技术领先的企业具有技术突破的经验和能力，随着国内电子产业的快速增长，本土化配套已成为重要趋势，国内微电子化学品企业生产技术的不断提高，未来国内将会出现具有国际竞争力的微电子化学品生产企业。

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