MEMS湿度传感器介绍

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来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2016-09-30 09:46:11】【打印】【关闭】

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传统湿度测量常采用伸缩法、蒸发法、露点法，但传统的湿度计体积较为庞大，甚至存在一些机械部件，因此很难与现代电子设备进行接口互联。而MEMS技术的发展则极大地促进了湿度传感器的微型化和智能化。

目前MEMS湿度传感器按工作原理大致可分为：电容型、电阻型、谐振式、热导式、电磁波法等。其中电容型是目前应用最多的一种传感器，大概占MEMS湿度传感器的75%左右。感湿介质包括：（1）多孔物，如多孔硅、多孔三氧化二铝、多孔氮化硅、多孔二氧化硅等；（2）高分子材料，如聚苯乙烯、聚酰亚胺、酷酸醋酸纤维等；（3）空气……

MEMS电容型湿度传感器制作流程（聚酰亚胺作为感湿介质）

一方面，和温度传感器一样，基于IC工艺的湿度传感器尺寸也可达到毫米量级，因此专门生产MEMS湿度传感器的厂商较少，有MEMS传感器技术的厂商也主要专注于惯性传感器、压力传感器等。另一方面，湿度传感器也常与温度传感器集成在一个微芯片上，由此可以精确测量露点，使其不会因为湿度传感器和温度传感器之间的温度梯度而导致误差。

湿度传感器在工业控制、气象、农业、矿山检测等行业中得到了广泛的应用。目前MEMS温度/湿度传感器实际应用不如MEMS惯性传感器广泛，但MEMS温度/湿度传感器未来将向智能手机、平板装臵、笔记本电脑等可携式产品延伸，成为消费电子类产品硬件差异化的重要部件。

国内外MEMS湿度传感器供应商