MEMS制造工艺非标准化,不同类型器件采用不同工艺
相关报告
- 2013-2014年全国流量传感器制造企业信息调查暨行业分析报告(2014-05-08)
- 2015-2019年视觉、图像传感器项目商业计划书(2014-11-04)
- 2015-2019年中国加速度传感器业兼并重组及投资建议研究分析报告(2014-11-05)
- 2016-2022年中国振动传感器行业市场深度调查研究及投资咨询报告(2015-12-03)
- 2014-2018年中国液位传感器行业市场发展研究及投资咨询研究报告(2014-04-03)
- 2015-2020年中国料位传感器行业市场调查研究及投资发展分析报告(2015-06-04)
- 2014-2018年中国湿度传感器行业市场深度剖析及投资前景趋势研究报告(2014-04-03)
- 2015-2019年中国智能家居企业拟IPO上市细分市场研究报告(2014-11-18)
- 2015-2019年水分传感器项目商业计划书(2014-11-14)
- 全国主要地区液位传感器产业发展状况暨投资环境调查研究报告(2014-11-26)
MEMS制造工艺主要包括微机械加工工艺、LIGA和集成工艺。微机械加工工艺又分为体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺。每一种工艺又有很多种细分类型。MEMS产品设计者根据产品需求来选择相应的制造工艺和材料。
主要的加工工艺

简单的体微加工工艺流程

简单的表面微加工工艺流程

MEMS加工工艺和IC加工工艺有较大的区别:
MEMS技术是由集成电路技术演变而来,并且对集成电路产业研发的加工技术进行了极大地改进,在某些加工方法和加工材料上,MEMS和IC具有相同的特性,但MEMS和集成电路加工工艺又很大的不同。
C加工工艺与MEMS加工工艺的区别

MEMS制造工艺复杂并且非标准化,不同类型MEMS传感器使用的制造工艺流程完全不同。例如9轴惯性传感器、MEMS麦克风、压力传感器、湿度传感器功能不同,有的需要与环境接触,器件内部结构完全不同,所以采用不同的制造工艺。
不同类型MEMS传感器不同的制造工艺

同一种MEMS器件不同厂商使用的加工工艺也不相同。以惯性传感器为例,Draper采用Gyroscope工艺,Ford采用BulkAccelerometer工艺,亚德诺半导体采用iMEMS工艺,意法半导体设计的陀螺仪、加速度计产品都是基于THELMA工艺,英美盛的陀螺仪采用NF工艺。
意法半导体THELMA工艺流程

英美盛NF工艺

英美盛NF工艺的四大流程

本文地址:http://www.zwzyzx.com/show-269-235649-1.html
相关资讯
- 高速宽带将是未来业务需求的焦点,新的光通信技术不断产生(2016-08-19)
- 第三方支付行业概述(2016-06-22)
- 国内PKI行业监管体制和主管部门(2015-06-24)
- 国内进入煤矿地理信息系统行业的主要障碍(2015-04-17)
- 国内移动信息化应用解决方案行业发展问题及挑战(2015-05-13)
- 全球安全防务需求大幅提升推动惯性导航需求(2014-05-30)
- 储存器行业发展的难度大(2016-07-04)
- 国内信息安全行业法律法规及相关产业政策(2015-06-24)
合作媒体
最新报告
定制出版
热门报告
免责声明
中为咨询所引述的资料是用于行业市场研究以及讨论和交流,并注明出处,部分内容是由相关机构提供。若有异议请及时联系本公司,我们将立即依据相关法律对文章进行删除或作相应处理。查看详细》》