MEMS制造工艺非标准化，不同类型器件采用不同工艺

您当前位置：首页 > 中为资讯 > IT通讯 > 　正文

来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2016-09-30 10:04:21】【打印】【关闭】

相关报告

MEMS制造工艺主要包括微机械加工工艺、LIGA和集成工艺。微机械加工工艺又分为体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺。每一种工艺又有很多种细分类型。MEMS产品设计者根据产品需求来选择相应的制造工艺和材料。

主要的加工工艺

简单的体微加工工艺流程

简单的表面微加工工艺流程

MEMS加工工艺和IC加工工艺有较大的区别：

MEMS技术是由集成电路技术演变而来，并且对集成电路产业研发的加工技术进行了极大地改进，在某些加工方法和加工材料上，MEMS和IC具有相同的特性，但MEMS和集成电路加工工艺又很大的不同。

C加工工艺与MEMS加工工艺的区别

MEMS制造工艺复杂并且非标准化，不同类型MEMS传感器使用的制造工艺流程完全不同。例如9轴惯性传感器、MEMS麦克风、压力传感器、湿度传感器功能不同，有的需要与环境接触，器件内部结构完全不同，所以采用不同的制造工艺。

不同类型MEMS传感器不同的制造工艺

同一种MEMS器件不同厂商使用的加工工艺也不相同。以惯性传感器为例，Draper采用Gyroscope工艺，Ford采用BulkAccelerometer工艺，亚德诺半导体采用iMEMS工艺，意法半导体设计的陀螺仪、加速度计产品都是基于THELMA工艺，英美盛的陀螺仪采用NF工艺。

意法半导体THELMA工艺流程

英美盛NF工艺

英美盛NF工艺的四大流程

本文地址：http://www.zwzyzx.com/show-269-235649-1.html

分享到：

相关资讯

热门关键词： 2013研究报告 2014研究报告酒店葡萄酒化工汽车服装中为介绍中为实力咨询流程支付方式报告定制旅游旅游

　　中为咨询所引述的资料是用于行业市场研究以及讨论和交流，并注明出处，部分内容是由相关机构提供。若有异议请及时联系本公司，我们将立即依据相关法律对文章进行删除或作相应处理。查看详细》》

关于我们

购买帮助

配送支付

客户服务

公司实力