超净高纯试剂在平板显示器行业的应用

来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2015-12-30 15:12:31】【打印】【关闭】

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显示器分为平板显示器（FPD）和阴极射线管显示器（CRT）。相对于传统的阴极射线管显示来说，平板显示（FPD）具有节能环保、低辐射、重量轻、厚度薄、体积小等优点，已成为显示技术发展的主流方向。平板显示器按照技术可分为以下门类：

TFT-LCD是借由控制薄膜电晶体（TFT）的排列方向，让光线通过液晶时产生不同的折射率，再配合向膜与偏光板作用产生影像，使显示面板呈现更清晰的色彩。随着彩色显示产品的快速普及，具有优良显示性能的TFT-LCD已成为液晶显示的主流产品，占据了平板显示器市场的主导地位。

超净高纯试剂主要应用于LCD和OLED的制造，其应用原理及用途基本相同。鉴于TFT-LCD是目前主流的平面显示器，且其工艺制程较为成熟，以下以TFT-LCD为例介绍超净高纯试剂在平板显示器制造中的用途。

TFT-LCD的制程可分为三个步骤，即薄膜晶体管的制造、成盒工艺和模块工艺。其中薄膜晶体管的制造工序分坚膜、清洗、曝光、显影、蚀刻、脱膜、检测等工序。上述工艺制程中，超净高纯试剂主要应用于TFT-LCD制造制程中的清洗、蚀刻、显影和脱膜等工序，其应用原理与集成电路制造类似，仅在适用试剂品种规格、作用介质等方面有所区别。