美国SEMI提出的工艺化学品的国际标准等级
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为了适应电子信息产业微处理工艺技术水平不断提高的趋势，并规范世界超净高纯试剂的标准，国际半导体设备与材料组织（SEMI）将超净高纯试剂按金属杂质、控制粒径、颗粒个数和应用范围等相关标准制定国际标准等级。美国SEMI提出的工艺化学品的国际标准等级：
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