电子特种气体：低端已基本实现自给，中高端尚被国外垄断
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电子特气的应用领域主要在半导体集成电路生产制造、液晶显示器件、非晶硅太阳能电池、光导纤维生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，常用的有20-30种。
2005年以来，我国已初步建立起电子特气国产化体系，从纯进口逐渐变为部分进口、部分自给。但目前我国电子特气企业普遍存在生产规模较小、产品纯度不高、产品纯度不稳定的情况，主要生产纯度和价格相对较低的工业级产品，部分关键的电子特气至今尚未实现本地化生产，如高纯砷烷、高纯磷烷、高纯硅烷、高纯氯以及与电子特气相配套的包装容器、阀门等，与国际先进水平尚有较大差距。
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