应用MEMS传感器简介

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来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2016-09-29 17:55:59】【打印】【关闭】

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因为传统的基于机电工艺制成的传感器和执行器在体积、价格和产能上不能适应工业、消费电子等领域的需求，MEMS开始发展起来。可能很多人对MEMS并不熟悉，但MEMS传感器早已经应用到了我们生活中的方方面面，比如汽车、打印机、智能手机、医疗设备等。

应用MEMS传感器的系统

MEMS的全称是微型电子机械系统(MicroElectromechanicalSystem)，利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分：传感器和执行器。

博世MEMS陀螺仪

MEMS陀螺仪结构图

与传统的机械传感器相比，MEMS传感器具有体积小、集成化、智能化、低成本等优点，可以满足物联网时代对于传感器的要求。

MEMS的优点

传统陀螺仪与MEMS陀螺仪比较

MEMS传感器种类很多，也有多种分类方法。按其工作原理，大致可分为MEMS物理、化学和生物传感器，其中每一种MEMS传感器又可分为很多种小类，不同的MEMS传感器可以测量不同的量，实现不同的功能。

MEMS传感器的分类

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