MEMS工艺兼具批量生产和成本优势

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来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2016-10-08 10:35:02】【打印】【关闭】

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典型的MEMS系统如图所示，由传感器、信息处理单元、执行器和通讯/接口单元等组成。其输入是物理信号，通过传感器转换为电信号，经过信号处理（模拟的和/或数字的）后，由执行器与外界作用。每一个微系统可以采用数字或模拟信号（电、光、磁等物理量）与其它微系统进行通信。

MEMS系统构成

MEMS工艺与传统的IC工艺有许多相似之处，如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等，但是有些复杂的微结构难以用IC工艺实现，除了体微加工技术、表面微加工技术之外，MEMS制造还广泛地使用多种特殊加工方法，包括键合、LIGA、电镀、软光刻、微模铸、微立体光刻与微电火花加工等。

MEMS是受到集成电路工艺的启发而发展起来的，它不仅具有集成电路系统的许多优点，同时集约了多种学科发展的尖端成果，与传统的机械工艺相比，它具有微型化、集成化、多样化、批量化等特点。

原材料价格低廉：大部分MEMS的原材料是硅(Si)，价格低廉，产量充足。

批量生产，良率高：MEMS工艺全自动化控制，隔离了人为因素，最大限度地控制同一批MEMS芯片之间的工艺误差，从而提升良品率。但由于MEMS的工艺难度高，其良率仍然与传统IC制造相比有一定的差距。

体积小、重量轻：传统机械加工无法使用纳米-微米级别的工艺，MEMS采用类似集成电路的工艺保证了产品的微型化。

传统技术制造的陀螺仪

MEMS技术制造的陀螺仪

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