MEMS传感器——IOT的五官

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来源：中为咨询www.zwzyzx.com 【日期：2016-11-30 22:23:39】【打印】【关闭】

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MEMS的全称是微型电子机械系统，是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。简单来说，其工作原理是外部环境物理、化学和生物等信号输入，通过微传感器转换成电信号，经过信号处理（模拟信号或数字信号）后，由微执行器执行动作，达到与外部环境“互动”的功能。MEMS的工作原理

硅压阻式和硅电容式压力传感器原理图

MEMS的优点在于：相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，甚至仅仅为几个微米，其厚度就更加微小。采用以硅为主的材料，电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相当。采用与集成电路(IC)类似的生成技术，可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、低成本生产。2005-2015年全球MEMS收入按领域划分

MEMS传感器应用领域广泛

MEMS传感器已经在我们每天使用的各类设备上数以百万计地使用着。在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用；在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统（TPMS）和车辆稳定性控制增强车辆的性能；医疗领域，通过MEMS传感器研成功制出微型胰岛素注射泵，并使心脏搭桥移植和人工细胞组织成为现实中可实际使用的治疗方式；在可穿戴应用中，MEMS传感器可实现运动追踪、心跳速率测量等……MEMS传感器已经被广泛地集成到汽车电子、消费电子、智能家居、智能电网等物联网应用领域，而未来的物联网离不开MEMS传感器对数据的采集和行为的反馈。MEMS传感器大量应用于智能手机

2012-2019年全球MEMS市场规模预测按应用划分

随着中国MEMS市场规模的扩大，国内厂商开始迅速发展。根据MEMS咨询的统计，2013年中国有三家公司的MEMS收入进入全球前30名，分别是瑞声科技（AAC）、歌尔声学（Goertek）和美新半导体（MEMSIC）。根据2016中国半导体市场年会暨第五届中国集成电路产业创新大会的报告，2016年中国大陆MEMS五强企业分别是瑞声科技、歌尔股份、美新半导体、深迪半导体和苏州明皜。其中瑞声科技和歌尔声学主要业务为消费电子MEMS麦克风，美新半导体、深迪半导体和明皜传感主要为MEMS压力传感器、陀螺仪和加速度计等。

目前，国内MEMS产品门类依然相对较少，主要还是以惯性器件和压力传感器为主。在代工方面，中芯国际和华虹宏力均提供MEMS代工服务；在封测方面，长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技等封测大厂也掌握相关MEMS封测技术。自2010年以来，中国目前已经在MEMS的科研、设计、IDM、封测等环节形成一定规模。中国MEMS科研机构分布