国内光刻胶专用化学品介绍

来源：中为咨询网www.zwzyzx.com 【日期：2014-11-13 22:02:45】【打印】【关闭】

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光刻胶专用化学品指的是生产光刻胶使用的化学原料，包括光引发剂（包括光增感剂、光致产酸剂）和光刻胶树脂、单体（或活性稀释剂）三种主要化学品成分和其他助剂，现简单介绍如下：

光引发剂是一种能吸收光能（辐射能），经激发产生化学变化生成活性中间体，并进一步引发聚合或其他化学反应的物质，是光刻胶的关键组分，对光刻胶的感光度、分辨率等起决定性作用。光引发剂因产生的活性中间体不同，可分为自由基型光引发剂和阳离子型光引发剂。光刻胶中用到的自由基型光引发剂较多，要求光引发剂对曝光光源波长的吸收率高，和光刻胶树脂的相溶性好，或者和颜料、染料的匹配性好等。光增感剂是引发助剂，是指能吸收光能将能量转移给光引发剂或本身不吸收光能但协同参与光化学反应提高引发效率的物质。由于曝光光源的变化，光刻胶需要用到光增感剂的配方较多。光致产酸剂是指在吸收光能后分子发生光解反应，产生强酸引发反应的物质，用于最尖端的化学增幅光刻胶。

光刻胶树脂是光刻胶中比例最大的组分，构成光刻胶的基本骨架，主要决定曝光后光刻胶的基本性能，包括硬度、柔韧性、附着力、曝光前和曝光后对特定溶剂的溶解度产生变化、光学性能、耐老化性、耐蚀刻、热稳定性等。

单体是含有可聚合官能团的小分子，也称之为活性稀释剂，一般参加光固化反应，降低光固化体系黏度，同时调节光固化材料的各种性能。

助剂是根据不同的用途添加的颜料、固化剂、分散剂等调节性能的添加剂。

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