气体纯度标准
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气体纯度的提法有多种,如普通纯、高纯气体、电子纯、特纯等,随着大规模集成电路(VISL)和特大规模集成电路(ULSI),又有VLSI和ULSI级纯的超净气体。这些提法都不十分确切,只是粗略的讲了气体纯度的高低,没有真正说明气体纯度的大小,分析报告准确表示气体的纯度,主要有两种方法,即:用百分数表示,如99%,99.9%,99.99%等和用“N”表示,如3N,4.5N等,N数目与百分数表示中的9的个数对应,小数点后的数表示不足“9”的数,如4.5N表示99.995%。
根据气体的纯度不同,通常又将气体纯度分为四级,即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体,下表给出气体纯度等级和器件生产工艺上的应用。
气体纯度标准

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