气体纯度标准
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气体纯度的提法有多种，如普通纯、高纯气体、电子纯、特纯等，随着大规模集成电路（VISL）和特大规模集成电路（ULSI），又有VLSI和ULSI级纯的超净气体。这些提法都不十分确切，只是粗略的讲了气体纯度的高低，没有真正说明气体纯度的大小，分析报告准确表示气体的纯度，主要有两种方法，即：用百分数表示，如99%，99.9%，99.99%等和用“N”表示，如3N，4.5N等，N数目与百分数表示中的9的个数对应，小数点后的数表示不足“9”的数，如4.5N表示99.995%。
根据气体的纯度不同，通常又将气体纯度分为四级，即普通气体、纯气体、高纯气体和超高纯气体，下表给出气体纯度等级和器件生产工艺上的应用。
气体纯度标准
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