一氧化二氮（N2O）：介质膜工艺气体，目前国内产能即将爆发

来源：中为咨询网(http://www.zwzyzx.com) 【日期：2016-10-18 14:32:45】【打印】【关闭】

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一氧化二氮是一种无色有甜味气体，在一定条件下能支持燃烧，但在室温下稳定，有轻微麻醉作用，并能致使人发笑，俗称笑气。

一氧化二氮作为电子气体主要用于半导体光电器件研制生产的介质膜工艺，是直接影响光电器件质量的不可替代的关键点子气体。高纯一氧化二氮是PECVD工艺积淀SiO2膜，掩蔽膜、钝化膜、器件抗反增透膜的重要原料。N2O纯度直接影响到SiO2膜纯度，如果杂质含量高，沉积的SiO2膜颗粒多，不光亮，产商表面折射率不均匀等现象，不利于光刻工艺的进行。如果N2O中微量水含量高，可造成SiO2膜含氢量大，致密性达不到要求，导致器件工作状态不稳定，抗电磁辐射能力不强。因此为保证光电器件产品的质量和可靠性，要求一氧化二氮纯度必须在5N以上。

高纯N2O通常采用医用N2O为原料，经过脱NH3、CO2、H2O、NO、NO2等工艺，然后进行低温精馏出去N2O中的O2、N2、H2等轻组分杂质，为了获得低温在精馏塔上还增加了压缩、节流循环系统，其产品最高可达5.8N级标准。

我国曾经高纯N2O供应严重不足，大多从韩国进口。北京某合资企业很早就有N2O生产线，但是只能生产医用级N2O；广州增城某企业采用老广气的湿法技术合成N2O，也无高纯N2O产品；镇江某外资企业虽然生产高纯N2O，但是因为设备老旧，产量不高。目前，吴江Messer、法液空等公司引进当今世界最新的硝酸铵干法分解生产超纯笑气设备，已经生产大量的高纯笑气，满足我国各领域对高纯N2O的需求，该工艺是目前国际通用化流程，只是设备价格一涨再涨，对于许多小微企业而言比较贵。国内以尼龙单体生产尾气回收的提纯工艺正如火如荼的开展，据不完全了解：山东金博环保科技有限公司在桓台县马桥镇工业集中区舍友生产基地，正在建设氧化亚氮回收示范工程项目，预计产能2000t/a，产品设计纯度达6N水平。金宏气体同河南平顶山神马集团公司合作回收笑气3000t/a的合同已经签订，项目正处在初步设计阶段。待尾气回收工艺顺利完成，我国的笑气产能将完全甚至超过市场的需求量，估计未来价格也会像高纯氨一样急剧下降，由于属于尾气回收，如何确保上游尾气顺利持续的供给是一个应关注的问题。

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